リニアモーターステージ True nano 6D point precision stage

次世代6D Point Precisionステージ

ALIO Industries社はコロラド州にあり、2001年に創設された当時からnano meterにこだわり、ナノメーターの精度にこわわったガイドステージを製造販売をしてきました。その思想は6D point precisionとして定義され、NISTによって、採択され、次世代スタンダードとなるべく、今現在も研究が進んでいます。
同社のステージ群はナノメートルの精度を実現する為、設計され、シンプルながら、特別な工程を通して、製造されます。
製造されたステージは非常に堅牢で、納品時等にその後の調整を必要としません。半導体関連、バイオ、レーザー加工と幅広いアプリケーションの第一線で使用されてます。
また、標準品のMTBFが>100,000時間と高い信頼性の高さにも定評があります。

製品特徴


  • モノリシックXYステージ

    必要最小限のパーツで構成されるモノリシックスタイルのXYステージ。ナノメートル精度を実現するリーズナブルな設計なステージです。クロスローラーガイドでありながら、エアベアリング同等の性能を誇ります。


  • 自由空間位置決めステージ
    Hybrid Hexapod

    従来のヘキサポッドの弱点である、ストローク・精度・剛性を解決して、ナノメートル精度の実現を可能としたステージです。回転軸をコントローラーに入力して、座標指定をするだけで自由に回転軸を変更しながら制御することが可能となります。


  • Zステージ

    ボイスコイルモーター、リニアモーター、トルクモーターを利用して、製造されるALIO Industries社のZ軸ステージ。高性能ガイドとカウンターバランスの組合せで高精度の走りを実現します。また、ボイスコイルモーター+エアベアリングの組合の最高級グレードもあります。


  • 回転ステージ

    ALIO Industries社の回転ステージはハイパワーのトルクモーターを組み込んでおります。通常のサイズに比べ、コンパクトなステージでもワンランク上のトルクを得ることが出来ます。薄型、大口径中空のステージもあり、高性能なエアベアリングの回転ステージも用意しています。


  • レーザーギンバル

    XYステージ+ギンバルステージ+Zステージの組合せにより、レーザー加工機用のパワフルなステージシステムとなります。レーザーの入射角を自由にコントロールし、3D曲線を自由にコントロールが可能となります。


  • エアベアリングステージ

    X軸ステージ、回転ステージ、Z軸ステージからXYプラナーまで、様々なエアベアリングシステムを用意しております。


  • ガントリーシステム

    ALIO Industries社のガントリーシステムは2本のX軸を個別にコントロールが可能となっており、回転軸を持ちます。これにより精度の高い円弧補間、真直性の補間が可能となります。また、アッセンブリも簡易となり、ユーザーサイドでのステージ組み上げも可能となっております。


  • 6D Point Precisionとは

    現状の1軸ステージ向けの点と面による繰り返し精度規定に対し、点と点による繰り返し精度規格。NIST(アメリカ国立標準技術研究所)にて採択され、ナノメートル精度を実現する為に必要な次世代規格となっています。

注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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