FR-Micシリーズ　ThetaMetrisis　顕微式白色干渉膜厚計

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高品質、高精度の顕微ユニットを開発しました。最小２µｍスポットの微小領域の膜厚測定が可能です。同軸カメラ付きで測定箇所がわかります。

FR-Micは、数ミクロン程度の小さなスポットサイズが求められる高速・高精度なコーティング特性評価用の顕微モジュールです。表面の微細パターンや粗い表面の膜厚測定に応用できます。オプションでオートタレット、オートフォーカス、最大300mm XY・RΘ自動ステージや自動膜厚マッピング装置もあります。

白色反射分光方式（WLRS：White Light Reflectance Spectroscopy）について

この測定方法では、サンプル表面に対して垂直に白色光を当て、薄膜や多層膜から反射されて戻ってきた光干渉波を特定の波長帯域の分光器で光量を測定します。界面からの干渉によって生成された反射分光スペクトルによって、薄膜の厚さや光学定数などの測定を行うことができます。また界面からの干渉によって生成された反射分光スペクトルによって、薄膜の厚さや光学定数などの測定を行うことができます。

顕微式膜厚計の主なアプリケーションについて

半導体（酸化膜、窒化膜、レジスト）、MEMSデバイス、LED、VCSEL、陽極酸化被膜、コーティング各種、バイオメディカル等

図：LiNbO3光導波路 (SiO2/LiNbO3/SiO2/Si)多層膜測定例

仕様

モデル	UV/VIS	UV/NIR-HR	VIS/NIR	NIR
分光範囲(nm)	200 – 850	200-1100	370 –1020	900 – 1700
ピクセル数	3648	3648	3648	512
厚みレンジ対物レンズ 5X	4nm – 60µm	4nm – 100µm	15nm – 90µm	100nm – 150µm
厚みレンジ対物レンズ10X	4nm – 50µm	4nm – 80µm	15nm – 80µm	100nm – 130µm
厚みレンジ対物レンズ15X	4nm – 40µm	4nm – 50µm	–	100nm – 100µm
厚みレンジ対物レンズ20X	4nm – 25µm	4nm – 30µm	15nm – 30µm	100nm – 50µm
厚みレンジ対物レンズ40X	4nm – 4µm	4nm – 5µm	–	–
厚みレンジ対物レンズ50X	–	–	15nm – 5µm	100nm – 5µm
API対応	〇	〇	〇
厚み精度	0.1% or 1nm	0.1% or 1nm	0.2% or 2nm	3nm or 0.3%

オプション

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。

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FR-Micシリーズ　ThetaMetrisis

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白色反射分光によるナノレンジからミクロンレンジの膜厚測定システムで、持ち運び便利なポータブルタイプから大型の据置きタイプまで用途にあわせ多くの機種が選択できます。たとえば、高温化(<206℃)、液中、顕微鏡取り付けタイプ、ガスチャンバー、フローセル等測定に必要とされる数多くのモジュールが用意されており、研究用途のみならず生産現場での使用を見越した製品です。