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USB接続によるプラグアンドプレイ方式の次世代型波面センサー。
高精度なナノ表面形状計測や透明体の内部構造の測定が可能。
電気可変レンズ(ETL)を用いて1000x1000ピクセル(100万点）で波面の位相を空間サンプリングし、波面精度λ/30以下、30ｆｐｓでリアルタイムの波面測定が可能。反射や透過測定両方できますが、平面や焦点深度ともにサブナノの高い空間分解能を持つため、半導体、MEMS、光学部品などのナノトポグラフィ（表面形状測定）や断面計測に最適なセンサーです。
波面位相イメージング（WFPI）技術の特長
WFPI方式（Wavefront Phase Imaging）は電気可変レンズで2枚のデフォーカス画像を取得。WFPIアルゴリズムで波面位相を再構成します。波面そのものを直接測定するのではなく、 複数の焦点位置や時間位置で取得した強度画像から波面を再構成する技術を利用しているため、画像素子の1000x1000ピクセル最大の超高密度サンプリング（100万点）の波面位相情報が直接得られます。
波面位相解析ソフトウェア SEBI AS
SEBI® ASを使用すると、取得した位相マップを解析することができます。例えば、生の波面位相データからゼルニケ多項式を用いて収差をフィルタリングしたり、2次元グラフを表示して、サンプルの各断面の波面位相情報を解析することも可能です。
次世代型波面位相センサーと従来型シャックハルトマンセンサーとの比較
分解能は従来のシャックハルトマン方式のようなマイクロレンズアレイ数に依存せず、高密度の位相情報、波面精度λ/30 RMSで30fpsのリアルタイム測定が可能になります。比較すると波面位相センサーのほうが平面と焦点深さ方向ともに、より高い分解能を示します。
インラインセンサーとしての応用例：半導体ウエハー検査計測
WooptixのWFPIシステムは、成膜や接合など、反りや機械的応力が発生する可能性のあるプロセス段階全体にわたって、ウェハー形状の計測を実現します。これらのプロセス段階では、正確な位置合わせが不可欠であり、ウェハーの歪みはプロセス結果に大きな影響を与える可能性があります。ウエハーの反り、変形、ナノトポロジー、接合ウエハーの表面形状、オーバーレイ誤差解析など、高精度にリアルタイム測定ができます。
| 解像度・サンプリング | 1000 x 1000 pixels |
|---|---|
| 横分解能 | 12.5 µm |
| 繰り返し精度 | λ/30 RMS |
| アパチャーサイズ | 15 x 15 mm |
| 波面精度 | <λ/30 RMS |
| 波長範囲 | 380 – 650 nm |
| リアルタイム処理 | 30 fps |
| インターフェイス | USB3.0 |
| OS | Windows |
| メーカー推奨光源 | 波長450 – 650 nm内の単色LED |
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
スペイン・テネリフェ島に本社を置くディープテック企業で、半導体業界向けの高精度計測装置（Metrology System）を開発しています。2016年にラ・ラグーナ大学（University of La Laguna）のスピンオフ企業として設立され、天文学の補償光学（Adaptive Optics）技術を半導体計測へ応用した独自技術を強みとしています。
同社の主力技術である Wavefront Phase Imaging®（WFPI） は、従来の干渉計やシャックハルトマンセンサーとは異なるアプローチで波面情報を取得し、高速かつ高分解能なウェーハ形状計測を実現しています。
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