ピエゾモーターステージ ピエゾ超音波モーターステージ

高性能エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ

Xeryon社はベルギーの工業地域のルーベンに位置し、高性能のピエゾステージを開発、製造、販売をしております。
超音波タイプやスリップスティックタイプ等のピエゾを利用した小型、高分解のステージを得意としています。
また、ユーザーのアプリケーションに合わせたステージの開発を行っています。
直動、回転すべてのステージにエンコーダーが含まれます。
また、真空、非磁性アプリケーションに多くの経験を持つプロフェッショナル集団です。

製品特徴


  • 直動ステージ

    □30㎜という小型ステージから120㎜のステージまで13㎜という薄さで設計されています。
    100㎜/秒という高速かつ、±1%のスピード安定性を持つ、高性能ステージです。


  • 中空回転ステージ

    高分解の小型中空ステージにエンコーダーを内蔵した高精度ステージ。真空非磁性のオプションもあり、高速加速器での使用向けに作られたモデルもあります。


  • カスタム品

    ユーザーのアプリケーションに合わせて、様々なピエゾを利用したステージ、シャッター、スキャナー等を提供します。

注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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