LPSシリーズ ピエゾモーターステージ

ピエゾモーターステージ

NANOS Instrument社はPiezoMotor社のピエゾモーターを使用し、バックラッシュのない各種精密ステージを製作しています。
X、XY、XYZ、θステージなど数多くのラインナップを持ち、オープンループ、クローズドループはもちろん、真空対応ステージや非磁性対応ステージも提供しています。

製品特徴


  • 驚きの超高分解能ステップ

仕様

ストローク 15mm, 35mm, 45mm, 65mm, 85mm
エンコーダ分解能 0.5nm ~
サイズ 30x30x14mm ~ 30x100x14mm

注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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