超小型ピエゾステージ 極小ピエゾステージ

業界最小クラスピエゾステージ

わずか15mm角、厚さ7mm、ストローク3mm、重さ6gの業界最小クラスのピエゾステージから、50mmストロークまでの多種類X、XY、XYZステージを揃えています。通常環境以外に、超真空(10-10mbar)、極低温(4K)などに適応する機種があり、使い勝手の良いドライバーも用途に合わせ各種用意されています。
メコニクスの新製品マルチアクチュエーターを組み込んだ10mmストロークステージはNOVAコントローラーを使用することで16Nというブロッキングフォースが得られます。

製品特徴


  • 極低温標準対応ステージ

    4K対応、真空度も50mm、超真空(10-10mbar)まで対応。

仕様

稼働軸 1軸~3軸
ストローク 3~30 mm
分解能囲 10~1000nm
最大速度 1~1.5mm/s
ロード 0.4~3NM
ブロッキングフォース 3~16N
ベアリングフォース 0~30N
対応真空度 10-11mbar
重量 6~120g

機械仕様

注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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