Excel Precision

米国Excel Precision社はスタンフォード大学アーサー・ショーロー教授（１９８１年ノーベル物理学賞受賞）のグループからスピンオフして設立されました。超高精度の変位測定と動作制御を必要とする研究および産業向けのレーザー干渉計システムの製造を専門としています。

NIST/ISO準拠、最大６軸同時に簡単精密測定できるレーザー干渉計（変位計）

高精度6DOFレーザー干渉計

直線位置決め	測定範囲:±5 m、精度:0.0005%(波長補正なし)、分解能10 nm
ヨーイング	測定範囲：±3600アーク秒: ±5°（角度補正）、精度±0.2%（表示値より）、分解能：0.1アーク秒
ピッチング	測定範囲：±3600アーク秒: ±5°（角度補正）、精度±0.2%（表示値より）、分解能：0.1アーク秒
ローリング	測定範囲：±3000アーク秒: ±3°（角度補正）、精度±0.3%（表示値より）、分解能：0.5アーク秒
水平度	測定範囲：±500µm、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm
垂直度	測定範囲：±500µm、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm
振動	測定範囲：±500µm（X,Y,Z軸同時）、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm
データ平滑処理	10‐75秒間にセット可能（アプリケーションによる）

Excel Precision

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