音響光学素子 Gooch&Housego AOディフレクター(AODF)/超音波光偏向器

加工、顕微鏡の高速スキャン用途に最適なAODF。

全スキャン角度にわたって非常に均一な回折効率を提供し、微細加工やデジタルイメージングなどのスキャン、レーザーを高速に振るアプリケーションに一貫したパワースループットを提供します。

製品特徴

メカニカルスキャナを凌ぐ最大速度

ガルバノ、ポリゴンミラー、MEMSスキャナー等のメカニカルスキャナを凌ぐ20~80MHzという速度。

精密スキャニングのための精度

<2µradという精度により、高速で精密なスキャニングが可能に。

最先端のAODアプリケーション用のRFドライバー

RF出力15W 2ch、25Mhzの更新レート、1KHzの周波数分解能、14ビットの振幅制御等優れた機能をもったRFドライバー。

仕様

下記一覧にないモデルもございますので、お気軽にお問い合わせください。
カスタム品についてもご相談ください。

Product Wavelength Type Scan Angle Active
Aperture
Oparating
Frequency
Optical
Material
AODF CO2 N/A Mid-IR 60 mrad 11.6mm 9.1-9.5 μm Germanium
AODF 266nm 266 nm UV 5.5 mrad 7 mm 130 – 210 MHz Fusad Silica
AODF 355nm 355 nm UV 4.9 mrad 7 mm 130 – 210 MHz Crystalline Quartz
AODF 364nm 364 nm UV 29.5 mrad 4.0 × 14.0 mm 75 – 125 MHz Tellurium Dioxide
AODF 405-488nm 405 – 488 nm Visible 44 mrad 8.5 mm 60 – 115MHz Tellurium Dioxide
AODF 440-530nm 440 – 530 nm Visible 44 mrad 8.5 mm 60 – 115 MHz Tellurium Dioxide
AODF 488nm 488 nm Visible 39.5 mrad 4.0 – 14 mm 75 – 125 MHz Tellurium Dioxide
AODF 532nm 532 nm Visible 6.5 mrad 7 mm 90 MHz Crystalline Quartz
AODF 680-1300nm 680 – 1300 nm IR 50 – 106 mrad 3 mm 55 MHz Tellurium Dioxide
AODF 750-1064nm 750 – 1064 nm IR 42.5 mrad 15 mm 55 – 110 MHz Tellurium Dioxide
AODF 780-980nm 780 – 980 nm IR 44.3 mrad 2.0 – 6.0 mm 140 – 280 MHz Tellurium Dioxide
AODF 830nm 830 nm IR 27.6 mrad 2.0 – 6.0 mm 140 – 280 MHz Tellurium Dioxide
AODF 1064nm 1064 nm IR 56 mrad 2 mm 72.5 – 107.5 MHz Tellurium Dioxide
AODF 1065-1100nm 1065 – 1100 nm IR 8.1 mrad 2.5 mm 59 – 91 MHz Tellurium Dioxide
ハイパワー対応AODF 1064nm 1064 nm IR 11.1 mrad 4 mm 120 MHz Crystal Quartz
10mm開口 AODF 1064nm 1064 nm IR 13.5 mrad 10 mm 102.5 MHz Crystal Quartz
AODF 1550nm 1520-1580 nm IR 11.8mrad 4 mm× 7mm 54 MHz Tellurium Dioxide
AODF 9.4μm 9.4μm IR 60 mrad 9 / 12 mm 70MHz Germanium
AODF 4050 9.1~9.4μm IR 34 mrad 11.6 mm 40~60MHz Germanium
AODF 4070 9.4μm IR 68 mrad 11 mm 70MHz Germanium

オプション

商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。

応用例

最新AODアプリケーション

正確で高速な処理を必要とする幅広いアプリケーションに適用できます。ガルバノやポリゴンミラーやリニアステージ等のメカニカルスキャナーとの組み合わせで用いられます。ガルバノミラーで大きく振り、ディフレクターでは細かく振ってトレパニングに対応します。
上記以外にもリソグラフィ、光ピンセット、ウェハ検査、顕微鏡用途等々、様々なご用途にご検討いただけます。



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                                    Gooch&Housego社について

                                    自社製作する最高級オプティカルグレードTeO₂結晶や選び抜かれたクリスタラインクォーツを使用し、長年の経験より最適設計され、洗練された効率の良いトランスデューサーのデザインと卓越したボンディング技術によってつくられた高効率な光変調器と光偏向器です。用途に合わせ各種揃えています。また、カスタム製品も、承っております。

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