ATLEX エキシマレーザー

小型・高繰り返しショートパルスエキシマレーザー

1993年各所で活躍していたエキシマレーザーのエキスパートが参加し、次世代小型高繰り返しでメンテナンスの容易なショートパルスエキシマレーザーを開発しました。オールセラミックチャンバー、サイラトロンを使用しない高電圧スイッチ、特許取得のOPECによる性能の効率化、ガス交換も含めPC上でのパラメータ操作、光学系メインテナンス等、数々の重要な機構に新しい発想と技術を投入し、ユーザーサイドに立った製品がリリースされています。

・HV-SSPによる予備電離ソフトコロナ放電
・TMC (Total-Metal-Ceramic) チャンバー
・真空ポンプとハロゲンフィルタは内蔵
・外部制御用にRS-485, RS232, USB 、光インターフェースが標準装備
・アクティブサーマルマネジメントによる完全空冷
・メンテナンスを考慮した内部ユニット構造
・運転モードにはエネルギー安定モードを搭載

製品特徴


  • 加工例

    25 micron hole in polyamide (Courtesy of Resonetics Inc.)


  • 加工例

    Precise holes drilled in a fine Nylon tube
    (Courtesy of Resonetics Inc.)


  • 加工例

    SEM of homogenized craters in zircon.


  • 加工例

    Pulse length 4 ns
    (ATLEX-M)

仕様

モデル ATLEX- 300-I 500-I 1000-I
ガス F2 ArF KrF XeCl XeF ArF
波長(nm) 157 193 248 308 351 193
最大繰り返し周波数(Hz) 300 500 1000
最大パルス
エネルギー(mJ)
1 10 15 8 7 10
平均出力(W) 0.2
(300-I)
1
(500-I)
2
(300-I)
4
(500-I)
4
(300-I)
7
(500-I)
2
(300-I)
3
(500-I)
2
(300-I)
3
(500-I)
8
(1000-I)
2.4
(300-FBG)
パルス幅(ns) 5-8
ビーム径(mm) 4×6
ビーム拡がり角(mrad) 1×2
エネルギー安定性(%) <3
モデル ATLEX- 300-FBG 500-FBG LR S
ガス ArF KrF ArF ArF KrF
波長(nm) 193 248 193 193 248
最大繰り返し周波数(Hz) 300 500 300 500 300 500
最大パルス
エネルギー(mJ)
10 15 12 10 15
平均出力(W) 4
(500-FBG)
10
(1000-I)
4
(300-FBG)
7
(500-FBG)
2 4 4 6
パルス幅(ns) 5-8 5 5-8
ビーム径(mm) 4×6
ビーム拡がり角(mrad) 1×2
エネルギー安定性(%) <3 <2 <3

機械仕様

注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

応用例

MEL80™ Excimer Laser of CZM for Refractive Surgery
(Courtesy of Carl Zeiss Meditec, Germany)
“ProMaster” compact laser workstation
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