電子イオンビーム Polygon Physics イオンビーム源
Polygon Physics社について
Polygon Physicsは、フランス国立科学研究センター（CNRS）にて電子サイクロトロン共鳴（ECR）を研究し続けていた研究者が、手のひらサイズの超小型ECRプラズマ共振器の作成に成功したことから始まっています。電磁場を使うことによって、共振器より効率的に電子・イオンビームを取り出すノウハウを確立し、世界最小サイズかつ指向性の高いビーム源を商品化することに成功しました。半導体、加速器、スパッター、表面処理など、様々な用途に使用できる製品です。
フィラメント不使用の超小型電子・イオンビーム
フィラメントを使用せず、メンテナンスが非常に容易でコストを抑えられる画期的な小型電子・イオンビーム源です！TES-40, TES-63,TES-100の３種類があり、それぞれ0-5kV, 2kV-15kV, 5-30kVに対応しております。 電子化学・エッチング・加速器・スパッタリング・表面処理・表面改質などご用途に応じて、わかりやすくどのモデルが向いているかをご説明も可能なので、ぜひ仕様書をダウンロードください。
製品特徴
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フィラメントを不使用！
従来の電子・イオンビームにはフィラメントが使われており、定期的な交換が必要となりますが、TEシリーズは独自のECR技術により、フィラメントが使われておりません。よって、長寿命化、メンテナンスコストの低減が可能になります。
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カスタムビーム形状、ビームサイズにも対応
独自のECR技術を使用していることから、様々なビーム径、ビーム形状が作成可能です。ご用途に応じて、例えば１ｍｍx1mmのビームから、1mx1mのビームでさえ作成することができます。形状などもアレイ、楕円など、カスタムも可能なのでご相談ください。
ダウンロード資料
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オプション
ご要求仕様をお知らせください。
注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例
アプリケーション：モデル対比表
