自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ KUBAN
Symetrie社について
フランス国立計測研究所LNEのエンジニアによって、フランス ニームに2001年設立されたSymetrie社は６軸ヘキサポッドステージに特化したヘキサポッドステージメーカーです。最大6000kgの耐荷重の標準製品や産業界や研究機関からの厳しい基準に沿った高精度なヘキサポッドステージを製造、開発しています。
高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN
Kuban は、高精度かつ 1.5 µrad の分解能で空間内に要素を配置するように設計された、非常に安定した 6DOF システムです。 高分解能アクチュエータと高精度球面ジョイントの構成と統合により、最大 500 kg の耐荷重で分解能と再現性の高いパフォーマンスを実現できます。
仕様
| XYストローク | ±75mm |
|---|---|
| Zストローク | ±45mm |
| チルト | <±5° |
| 回転(ZΘ) | ±10° |
| 繰り返し精度(XYZ) | XY±0.2μm Z±0.1μm |
| 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) | RxRy±2.5μrad Rz±4μrad |
| サイズ | φ450mm 高さ(Z中間地点)600mm 開口φ200mm |
| 耐荷重 | 500kg |
ダウンロード資料
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注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例
