フランス国立計測研究所LNEのエンジニアによって、フランス ニームに2001年設立されたSymetrie社は６軸ヘキサポッドステージに特化したヘキサポッドステージメーカーです。最大6000kgの耐荷重の標準製品や産業界や超高真空、非磁性対応のカスタム品、研究機関からの厳しい基準に沿った高精度なヘキサポッドステージを製造、開発しています。
Products製品情報
Symetrie
Symetrie社について
製品一覧
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小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SOLANO
XYストローク ±18mm Zストローク ±6.5mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±21° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±4μrad サイズ φ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm 耐荷重 5kg Symetrie
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小型高精度ヘキサポッドステージ BORA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA
XYストローク ±20mm Zストローク ±10mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±15° 繰り返し精度(XYZ) ±0.4μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±3.2μrad サイズ φ210mm 高さ(Z中間地点)145mm 開口φ36mm 耐荷重 10kg Symetrie
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小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MAUKA
XYストローク ±5mm Zストローク ±10mm チルト <±8° 回転(ZΘ) ±8° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±5μrad サイズ φ107mm 高さ(Z中間地点)198mm 開口φ30mm 耐荷重 5kg Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ HEGOA
XYストローク ±100mm Zストローク ±50mm チルト <±23° 回転(ZΘ) ±30° XYZスピード ±200mm/s チルト/回転スピード ±50mm/s サイズ φ322mm 高さ(Z中間地点)420mm 耐荷重 50kg 重量 3kg Symetrie
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シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ PUNA
XYストローク ±30mm Zストローク ±20mm チルト <±11° 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.75μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±3.2μrad サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)200mm 開口φ144mm 耐荷重 25kg Symetrie
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高精度ヘキサポッドステージ BREVA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BREVA
XYストローク ±75mm Zストローク ±50mm チルト <±20° 回転(ZΘ) ±22° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad サイズ φ606mm 高さ(Z中間地点)350mm 開口φ250mm 耐荷重 200kg Symetrie
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高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA
XYストローク ±50mm/±200mm(長ストロークモデル) Zストローク ±25mm/±150mm(長ストロークモデル) チルト <±10°/±20°(長ストロークモデル) 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad/±1μrad(長ストロークモデル) サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)360mm/φ720mm 高さ(Z中間地点)640mm(長ストロークモデル) 耐荷重 400kg Symetrie
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高精度長ストロークヘキサポッドステージ SIRIUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIRIUS
XYストローク ±150mm Zストローク ±100mm チルト <±16° 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) XY±3μm Z±2μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±10μrad Rz±17.5μrad サイズ φ520mm 高さ(Z中間地点)750mm 耐荷重 500kg Symetrie
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高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ KUBAN
XYストローク ±75mm Zストローク ±45mm チルト <±5° 回転(ZΘ) ±10° 繰り返し精度(XYZ) XY±0.2μm Z±0.1μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±2.5μrad Rz±4μrad サイズ φ450mm 高さ(Z中間地点)600mm 開口φ200mm 耐荷重 500kg Symetrie
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1500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージ JORAN
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ JORAN
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) JORAN BJ ±75 ±50 ±5 ±8 0.6 0.4 0.045 0.07 1500 JORAN UJ ±170 ±100 ±10 ±18 0.6 0.4 0.045 0.07 1500 Symetrie
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500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SURES
XYストローク ±8mm Zストローク ±6mm チルト <±1° 回転(ZΘ) ±1° 繰り返し精度(XY) ±0.25μm 繰り返し精度(Z) ±0.13μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±0.5μrad サイズ φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm 耐荷重 500kg Symetrie
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コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ NOTUS
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ry Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) NOTUS P ±250 ±200 ±25 ±30 800 300 50 200 NOTUS V ±250 ±200 ±25 ±30 1200 640 135 100 Symetrie
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ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MISTRAL
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) MISTRAL 600 ±400 ±300 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 MISTRAL 800 ±460 ±400 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIROCCO
XYストローク ±600mm Zストローク ±500mm チルト,回転 <±40° XYスピード ±2000mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ3350mm 高さ(Z中間地点)2850mm 耐荷重 2000kg Symetrie
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パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ AQUILON
XYストローク ±800mm Zストローク ±650mm チルト <±200° 回転(ZΘ) ±100° XYスピード ±1800mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ2100mm 高さ(Z中間地点)3311mm 耐荷重 6000kg Symetrie
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カスタムヘキサポッドステージ
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ カスタム品
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