True nano Tech 薄型高剛性ステージ
自動ステージ ALIO Industries XYステージ（デモ機あり）
| ストローク | 30-450㎜ |
|---|---|
| 繰り返し精度 | ±30nm |
| 分解能 | <5nm |
| 最大速度 | 0.5-1.0m/sec |
ALIO Industries
リニアステージ
-
-
小型高剛性3軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries XYZステージ
Xストローク 30㎜ 60㎜ Yストローク 30㎜ 60㎜ Zストローク 30㎜ 30㎜ 繰り返し精度 ±30nm ±30nm 最大負荷 お問い合わせください。 走り精度 お問い合わせください。 ALIO Industries
-
エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ
自動ステージ PRECIBEO エンコーダー内蔵ピエゾステージ
ストローク 20mm-50mm 分解能 2nm 最大速度 8mm/s(無負荷時) 最大荷重 <0.5kg サイズ 45×45×14mm PRECIBEO
-
真空度10-6 mbar対応！エンコーダー内蔵真空対応ピエゾモーターステージ！
自動ステージ PRECIBEO 真空対応エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ
ストローク 20mm(35mm,50mmについてはお問い合わせください) 分解能 2nm(35mm,50mmストロークは4nm) 最大速度 8mm/s(無負荷時) 最大荷重 <0.5kg サイズ 45×45×14mm PRECIBEO
-
長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。
自動ステージ Xeryon ピエゾ超音波ステージ
稼働軸 3軸 ストローク 10～120mm 分解能 1.25µm～１nm 推進力 1～3N サイズ 30x34x13㎜～120x49x13㎜ 真空オプション 10＾-6mbar Xeryon
-
ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYピエゾステージ
モデル ストローク[um] 開口[mm] センサータイプ PXY D12 40/-、80/65、200/160 SG PXY16 16/12 φ66 – PXY16 OEM 16/12 L字 CAP PXY36 36/30 50ｘ50mm – PXY38 38/32 – SG, CAP ScanXY40 40 φ15mm – PXY100 100/90 – SG, CAP PXY102 100/80 φ40mm SG, CAP PXY200 200/160 φ28mm SG PXY201 250/200 30ｘ30mm CAP PXY400 400 22x22mm – 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
-
小型長ストロークX軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena X軸ピエゾステージ
ストローク 分解能 センサータイプ PX38 39um 0.07nm – PX38 SG 39um / 32um 0.07nm / 0.7nm SG PX50 CAP 50um / 40um 0.1nm / 1nm CAP PX100 100um 0.2nm – PX100 SG 100um / 80um 0.2nm / 2nm SG PX200 200um 0.4nm – PX200 SG 200um / 160um 0.4nm / 4nm SG PX200 CAP 200um / 160um 0.4nm / 2nm CAP PX300 300um 0.6nm – PX300 SG 300um / 240um 0.6nm / 6nm SG PX300 CAP 300um / 240um 0.6nm / 3nm CAP PX400 400um 0.8nm – PX400 SG 400um / 320um 0.8nm / 8 nm SG PX400 CAP 400um / 320um 0.8nm / 4nm CAP Piezosystem Jena
-
小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYZ3軸ピエゾステージ
モデル ストロークum(オープン/クローズ) 開口 センサータイプ MicroTritor 9 – – miniTritor 38 – – Tritor38 38/30 – SG Tritor50 50/40 – – Tritor100 100/80 – SG, CAP Tritor102 100/80 φ40㎜ SG, CAP Tritor320 50X50Y400Z/40X40Y320Z 150x150mm CAP Tritor400 400/320 12.5㎜ SG, CAP 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
-
小型長ストロークZ軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena Z軸ピエゾステージ
ストローク[um] 分解能[nm] センサータイプ PZ250 SG 350 / 250 0.7 SG PZ250 CAP WL 350 / 250 3 CAP PZ300 AP 370 0.6 – PZ300 CAP AP 370 / 300 0.6 / 1 CAP PZ400 400 0.8 – PZ400 SG 400 / 320 0.8 / 8 SG PZ700 SI 700 1.4 – Piezosystem Jena
-
小型長Z軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena Z軸ピエゾステージ
ストローク 分解能 センサータイプ PZ8 D12 8um 0.7nm – PZ8 D12 SG 8um / 6.4um 0.7nm / 8nm SG PZ20 D12 20um 0.7nm – PZ20 D12 SG 20um / 16um 0.7nm / 16nm SG PZ10 10um 0.02nm – PZ16 CAP 22um / 16um 0.04nm / 0.4nm CAP PZ38 38um 0.08nm – PZ38 SG 38um / 32um 0.08nm / 0.7nm SG PZ38 CAP 38um / 32um 0.08nm / 0.7nm CAP PZ100 100um 0.2nm – PZ100 SG 100um / 85um 0.2nm / 2nm SG PZ100 CAP 100um / 85um 0.2nm / 1nm CAP PZ200 OEM 200um 0.4nm – PZ200 SG OEM 200um / 160um 0.4nm / 4nm SG PZ400 OEM 400um 0.8nm – PZ400 SG OEM 400um / 320um 0.8nm / 8nm SG Piezosystem Jena
-
長ストロークZ軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries Z軸ステージ
ストローク 50-350mm 繰り返し精度 <±100nm、<1.0um (モーターによる) 走り精度 お問い合わせください。 最大負荷 お問い合わせください。 ALIO Industries
-
比類なきTrue nano グレードのプラナーステージ
自動ステージ ALIO Industries プラナーステージ
詳細仕様はお取合せください。
ALIO Industries
-
長ストローク高精度ステージ
自動ステージ ALIO Industries 長ストロークステージ
ストローク 100-2000㎜ 繰り返し精度 ±30nm 分解能 <5nm 加速度 最大4G ALIO Industries
-
業界最小クラスの極小ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:15mm×15mm～)（デモ機あり）
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 3～10mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.4Nm ブロッキングフォース 3N ベアリングフォース 20N 質量 6g mechOnics
-
ナノポジショニング小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:30mm×30ｍｍ～40mm×40mm)
稼働軸 1軸～2軸 ストローク 8～11mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 30N 質量 32～50g mechOnics
-
ナノポジショニングクローズドループ対応ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ: 70mm×70mm)
稼働軸 1軸～2軸 ストローク 15mm 分解能 1μm～20nm 最大速度 1.5mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 10N 質量 120g mechOnics
-
ナノポジショニング小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm～)（デモ機あり）
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 8～30mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 30N 質量 32～54g mechOnics
-
極低温対応可能ナノポジショニング小型ピエゾステージを標準品でご用意。
自動ステージ mechOnics 極低温対応ピエゾステージ (サイズ:17mm×65mm)
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 5mm 分解能 200～1000nm 最大速度 1mm/s 積載量 3Ncm ブロッキングフォース 1N ベアリングフォース 1N 質量 25g mechOnics
-
ナノポジショニング穴あき小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics 穴あきピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm)
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 8mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.5mm/s 積載量 0.4Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 20N 質量 32g mechOnics
-
ピエゾモーターステージ
自動ステージ NANOS Instruments ピエゾモーターステージ
NANOS Instruments
