ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース！360°回転も可能！Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
自動ステージ ALIO Industries ヘキサポッド ステージ
| XYストローク | ≧60mm |
|---|---|
| Zストローク | ≧6mm |
| チルト | <±30° |
| 回転(ZΘ) | 360° |
| 繰り返し精度 | ±80nm |
ALIO Industries
製品情報
ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース！360°回転も可能！Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
| XYストローク | ≧60mm |
|---|---|
| Zストローク | ≧6mm |
| チルト | <±30° |
| 回転(ZΘ) | 360° |
| 繰り返し精度 | ±80nm |
ALIO Industries
小型ヘキサポッド/多軸ステージ！
| ストローク | XYZ±10mm,Θ(XYZ)±10° |
|---|---|
| 分解能 | 2nm |
| 最大速度 | 8mm/s(無負荷時) |
| 最大荷重 | 1kg |
PRECIBEO