パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ AQUILON
| XYストローク | ±800mm |
|---|---|
| Zストローク | ±650mm |
| チルト | <±200° |
| 回転(ZΘ) | ±100° |
| XYスピード | ±1800mm/s |
| Zスピード | ±1600mm/s |
| チルトスピード | ±200°/s |
| 回転スピード | ±100°/s |
| サイズ | φ2100mm 高さ(Z中間地点)3311mm |
| 耐荷重 | 6000kg |
Symetrie
補償光学
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIROCCO
XYストローク ±600mm Zストローク ±500mm チルト,回転 <±40° XYスピード ±2000mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ3350mm 高さ(Z中間地点)2850mm 耐荷重 2000kg Symetrie
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ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MISTRAL
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) MISTRAL 600 ±400 ±300 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 MISTRAL 800 ±460 ±400 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 Symetrie
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コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ NOTUS
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ry Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) NOTUS P ±250 ±200 ±25 ±30 800 300 50 200 NOTUS V ±250 ±200 ±25 ±30 1200 640 135 100 Symetrie
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500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SURES
XYストローク ±8mm Zストローク ±6mm チルト <±1° 回転(ZΘ) ±1° 繰り返し精度(XY) ±0.25μm 繰り返し精度(Z) ±0.13μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±0.5μrad サイズ φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm 耐荷重 500kg Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ HEGOA
XYストローク ±100mm Zストローク ±50mm チルト <±23° 回転(ZΘ) ±30° XYZスピード ±200mm/s チルト/回転スピード ±50mm/s サイズ φ322mm 高さ(Z中間地点)420mm 耐荷重 50kg 重量 3kg Symetrie
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小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SOLANO
XYストローク ±18mm Zストローク ±6.5mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±21° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±4μrad サイズ φ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm 耐荷重 5kg Symetrie
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ゼルニケ７次の項の補正が可能！
最先端光学デバイス/アダプティブオプティクス Phaseform 透過型デフォーマブルフェイズプレート(DPP)
アパチャーサイズ 10㎜ アクチュエーター数 63個 透過率 >85% ※注 ARコート無し at 550nm サイズ 45.50 x 59.75 x 14.80 mm³ 重量 61g Phaseform
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最大6kW対応可能な焦点可変用デフォーマブルミラー！
最先端光学デバイス/アダプティブオプティクス ROBUST AO 焦点可変用デフォーマブルミラー
アパチャーサイズ 10㎜ ～ 20mm 対応波長 532nm ～ 10600nm ※他波長要相談 対応出力 ～6kW ROBUST AO
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最大4kW対応可能なデフォーマブルミラー!
最先端光学デバイス/アダプティブオプティクス Dynamic optics デフォーマブルミラー
アパチャーサイズ 10～25㎜ ミラーサイズ 10mm ～ 200mm アクチュエーター数 32～128 ミラーコーティング metallic or dielectric (up to R>99.99%, high damage threshold) Dynamic optics
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世界初、透過型アダプティブレンズ
最先端光学デバイス/アダプティブオプティクス Dynamic optics 透過型アダプティブレンズ/シャックハルトマンセンサー
アパチャーサイズ 10－16-23㎜ カスタム5-30mm可 レスポンスタイム <5ms Dynamic optics
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世界最高峰の精度、信頼性、デフォーマブルミラー
ディフォーマブルミラー/アダプティブオプティクス ALPAO アダプティブミラー
アクチュエーターピッチ 0.8～20 mm アパチャサイズ 7.2～170㎜ アクチュエーター数 69～3228 個 Best flat 7nm (rms) 3nmオプション有 MLA数 8×8～50×50 センサータイプ SMOS, EMCCD, InGaAs Acquisition Time ≺5670Hｚ ALPAO
