カスタムヘキサポッドステージ
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ カスタム品
Symetrie
カスタムヘキサポッドステージ
Symetrie
パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
XYストローク | ±800mm |
---|---|
Zストローク | ±650mm |
チルト | <±200° |
回転(ZΘ) | ±100° |
XYスピード | ±1800mm/s |
Zスピード | ±1600mm/s |
チルトスピード | ±200°/s |
回転スピード | ±100°/s |
サイズ | φ2100mm 高さ(Z中間地点)3311mm |
耐荷重 | 6000kg |
Symetrie
小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
XYストローク | ±600mm |
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Zストローク | ±500mm |
チルト,回転 | <±40° |
XYスピード | ±2000mm/s |
Zスピード | ±1600mm/s |
チルトスピード | ±200°/s |
回転スピード | ±100°/s |
サイズ | φ3350mm 高さ(Z中間地点)2850mm |
耐荷重 | 2000kg |
Symetrie
ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
モデル名 | XYストローク (mm) |
Zストローク (mm) |
Rx Ryストローク (°) |
Rzストローク (°) |
XYスピード (mm/s) |
Zスピード(mm/s) | Rx Ryスピード (°/s) |
Rzスピード (°/s) |
耐荷重(kg) |
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MISTRAL 600 | ±400 | ±300 | ±30 | ±40 | 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) | 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) | 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) | 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) | 1000/500 |
MISTRAL 800 | ±460 | ±400 | ±30 | ±40 | 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) | 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) | 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) | 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) | 1000/500 |
Symetrie
コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS
モデル名 | XYストローク (mm) |
Zストローク (mm) |
Rx Ryストローク (°) |
Rzストローク (°) |
XYスピード (mm/s) |
Zスピード(mm/s) | Rx Ry Rzスピード (°/s) |
耐荷重(kg) |
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NOTUS P | ±250 | ±200 | ±25 | ±30 | 800 | 300 | 50 | 200 |
NOTUS V | ±250 | ±200 | ±25 | ±30 | 1200 | 640 | 135 | 100 |
Symetrie
500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
XYストローク | ±8mm |
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Zストローク | ±6mm |
チルト | <±1° |
回転(ZΘ) | ±1° |
繰り返し精度(XY) | ±0.25μm |
繰り返し精度(Z) | ±0.13μm |
繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) | ±0.5μrad |
サイズ | φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm |
耐荷重 | 500kg |
Symetrie
小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA
XYストローク | ±100mm |
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Zストローク | ±50mm |
チルト | <±23° |
回転(ZΘ) | ±30° |
XYZスピード | ±200mm/s |
チルト/回転スピード | ±50mm/s |
サイズ | φ322mm 高さ(Z中間地点)420mm |
耐荷重 | 50kg |
重量 | 3kg |
Symetrie
小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
XYストローク | ±18mm |
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Zストローク | ±6.5mm |
チルト | <±10° |
回転(ZΘ) | ±21° |
繰り返し精度(XYZ) | ±0.25μm |
繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) | ±4μrad |
サイズ | φ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm |
耐荷重 | 5kg |
Symetrie
ゼルニケ7次の項の補正が可能!
アパチャーサイズ | 10㎜ |
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アクチュエーター数 | 63個 |
透過率 | >85% ※注 ARコート無し at 550nm |
サイズ | 45.50 x 59.75 x 14.80 mm³ |
重量 | 61g |
Phaseform
最大6kW対応可能な焦点可変用デフォーマブルミラー!
アパチャーサイズ | 10㎜ ~ 20mm |
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対応波長 | 532nm ~ 10600nm ※他波長要相談 |
対応出力 | ~6kW |
ROBUST AO
最大4kW対応可能なデフォーマブルミラー!
アパチャーサイズ | 10~25㎜ |
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ミラーサイズ | 10mm ~ 200mm |
アクチュエーター数 | 32~128 |
ミラーコーティング | metallic or dielectric (up to R>99.99%, high damage threshold) |
Dynamic optics
世界初、透過型アダプティブレンズ
アパチャーサイズ | 10-16-23㎜ カスタム5-30mm可 |
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レスポンスタイム | <5ms |
Dynamic optics
世界最高峰の精度、信頼性、デフォーマブルミラー
アクチュエーターピッチ | 0.8~20 mm |
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アパチャサイズ | 7.2~170㎜ |
アクチュエーター数 | 69~3228 個 |
Best flat | 7nm (rms) 3nmオプション有 |
MLA数 | 8×8~50×50 |
センサータイプ | SMOS, EMCCD, InGaAs |
Acquisition Time | ≺5670Hz |
ALPAO