長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。
自動ステージ Xeryon ピエゾ超音波ステージ
| 稼働軸 | 3軸 |
|---|---|
| ストローク | 10～120mm |
| 分解能 | 1.25µm～１nm |
| 推進力 | 1～3N |
| サイズ | 30x34x13㎜～120x49x13㎜ |
| 真空オプション | 10＾-6mbar |
Xeryon
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コンパクトで正確なピエゾ回転ステージ
自動ステージ Xeryon ピエゾ回転ステージ
分解能 3～109μrad 回転速度 12 ～720度/s サイズ 40x35x21(mm)～50x46x21（㎜） Xeryon
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高出力用レーザーパワーアッテネーター
レーザー用オプティクス Autex 高出力用レーザーパワーアッテネーター
Autex
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レーザー用オプティクス ビームエキスパンダー
レーザー用オプティクス Autex ビームエキスパンダー
Autex
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レーザー用オプティクス 波長板
レーザー用オプティクス Autex 波長板
Autex
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レーザー用オプティクス ミラー
レーザー用オプティクス Autex ミラー
Autex
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レーザー用オプティクス 偏光ビームスプリッター
レーザー用オプティクス Autex 偏光ビームスプリッター
Autex
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ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYピエゾステージ
モデル ストローク[um] 開口[mm] センサータイプ PXY D12 40/-、80/65、200/160 SG PXY16 16/12 φ66 – PXY16 OEM 16/12 L字 CAP PXY36 36/30 50ｘ50mm – PXY38 38/32 – SG, CAP ScanXY40 40 φ15mm – PXY100 100/90 – SG, CAP PXY102 100/80 φ40mm SG, CAP PXY200 200/160 φ28mm SG PXY201 250/200 30ｘ30mm CAP PXY400 400 22x22mm – 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYZ3軸ピエゾステージ
モデル ストロークum(オープン/クローズ) 開口 センサータイプ MicroTritor 9 – – miniTritor 38 – – Tritor38 38/30 – SG Tritor50 50/40 – – Tritor100 100/80 – SG, CAP Tritor102 100/80 φ40㎜ SG, CAP Tritor320 50X50Y400Z/40X40Y320Z 150x150mm CAP Tritor400 400/320 12.5㎜ SG, CAP 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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標準品のマイクロメーターに取り付けて、微動制御が可能
ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター Piezosystem Jena マイクロメーター用ピエゾアクチュエーター
モデル ストローク 分解能 発生力 MICI80 80um 0.1nm 216N MICI80SG 80um / 64um 0.1nm/2nm 216N MICI180 180um 0.4nm 144N MICI180SG 180um / 144um 0.4nm/4nm 144N MICI200 250um 250um 110N MICI200SG 250um / 200um 250nm/200nm 110N Piezosystem Jena
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ピエゾを利用した自動スリット。高速・精密に開閉可能。
高速・精密ピエゾシャッター・可変スリット
モデル 最大開口 分解能 センサータイプ PZS1 230um 0.5nm – PZS1 SG 230um/190um 0.5nm/3nm SG PZS2 60um 0.01nm – PZS2 SG 60um/50um 0.01nm/0.8nm SG PZS3 1500um 3nm – PZS4 300um 0.6nm – PZS4 SG 240um 0.6nm/8nm SG Piezosystem Jena
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オリエンテーションフリーブロックタイプピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena オリエンテーションフリーピエゾステージ
ストローク 40-100um 共振周波数 <1320Hz センサーオプション ストレンゲージタイプ 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
モデル ストローク[um] 分解能[nm] 最大発生力[N] センサータイプ PU40 40 0.08 32 – PU40 SG 32 0.08 / 0.8 32 SG PU90 90 0.18 135 – PU90 SG 72 0.18 / 1.8 135 SG PU100 100 0.2 135 – PU100 SG 80 0.2 / 2 135 SG PU65 HR 65 for Scan 48 – Piezosystem Jena
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3軸ピエゾ高速ティルトステージ
自動ステージ Piezosystem Jena ピエゾティルトステージ
モデル ストローク[mrad] Z軸ストローク[um] センサータイプ PSH 1 1 – SG PSH 1z 1 8 SG PSH 2 2 – SG PSH 2z 2 16 SG PSH 3 3 – SG PSH 3z 3 26 SG PSH 4 4 – SG PSH 4z 4 33 SG PSH 8 8 – SG PSH 8z 8 – SG 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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コンパクトな筐体に5軸を搭載したピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena 5軸ピエゾステージ
モデル ストローク[um] 開口[mm](φ) センサータイプ PENTOR 100 17 – PENTOR SG 100 17 SG Piezosystem Jena
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高剛性精密回転ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena 回転ステージ
モデル ストローク[mrad] 開口[mm] センサータイプ ROTOR 10 11 φ3 – ROTOR 10SG 9 φ3 SG Piezosystem Jena
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モノリシックキャビティ狭線幅DPSS（半導体励起固体）レーザーおよび高速変調可能半導体レーザーモジュール
スタンダードレーザー Oxxius DPSS、半導体レーザー
スタンダード DPSSレーザー モデル 波長 出力 ローノイズ ハイパワー ローノイズ ハイパワー LCX-532L – 532.3 nm 50~500mW – LCX-553L – 553nm 50~200mW – LCX-561L – 561.4nm 50~300mW – 半導体レーザー モデル 波長 出力 ローノイズ ハイパワー ローノイズ ハイパワー LBX-375 LBX-375HPE 375nm 70mW 200,400mW LBX-405 LBX-405HPE 405nm 50,100,180,300mW 900,1200mW LBX-445 – 445nm 100,500mW – LBX-450 LBX-450HPE 450nm 70mW 650,1200mW LBX-458 – 458nm 500mW – LBX-473 LBX-473HPE 473nm 100,300mW 1000mW LBX-488 LBX-488HPE 488nm 40,50,60,100,150,200mW 1000,2000mW LBX-505 – 505nm 70mW – LBX-515 – 515nm 150mW – – LBX-520HPE 520nm – 800mW LBX-522 – 522nm 70,100mW – LBX-633 – 633nm 100mW – LBX-638 LBX-638HPE 638nm 100,150,180mW 1100mW LPX-640L – 639.7 nm 300,500mW – LBX-642 – 642nm 140mW – LBX-647 – 647nm 140mW – LBX-660 – 660nm 100mW – LBX-730 – 730nm 40mW – – LBX-750HPE 750nm – 1200mW LBX-785 LBX-785HPE 785nm 100,250,350mW 800mW – LBX-940HPE 940nm – 800mW LBX-980 – 980nm 200mW – LBX-1064 – 1064nm 200mW – OXXIUS
Ultra low loss 超小型 Waveguide
フォトニックインティグレイテッドオプティクス Teemphotonics WAFT, FSC, Mode Converter
波長範囲 1200-1700nm 挿入損失 <0.7dB PDL <0.1dB 最小モードサイズ 4×3μm 最小ピッチ 10μm Teem Photonics
世界最高クラスのを誇る透過型グレーティング
高効率透過型グレーティング Gitterwerk 回折格子
対応波長 450nm～1975nm サイズ ～135mm 溝数 800 l/mm～ 2500 l/mm 厚み 3mm or 6.35mm 材料 fused silica Gitterwerk
小型、高推力のフリクションベースピエゾモーター
ピエゾアクチュエーター Piezomotor 超小型リニアモーター(デモ機あり）
PiezoMotor
3D形状測定に最適なPSDアレイ
ポジションセンサー Sitek PSDアレイ
model 1LA16 2,5_SU89 PSD数 16素子 有効受光面サイズ 2.5mm × 0.39mm 対応波長 400-1100nm 応答速度 70nsec Sitek
