エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ
自動ステージ PRECIBEO エンコーダー内蔵ピエゾステージ
ストローク | 20mm-50mm |
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分解能 | 2nm |
最大速度 | 8mm/s(無負荷時) |
最大荷重 | <0.5kg |
サイズ | 45×45×14mm |
PRECIBEO
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エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ
ストローク | 20mm-50mm |
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分解能 | 2nm |
最大速度 | 8mm/s(無負荷時) |
最大荷重 | <0.5kg |
サイズ | 45×45×14mm |
PRECIBEO
ピエゾモーターステージ
NANOS Instruments
熱レンズ効果を補償する光学系
波長 | 900~1100 nm |
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焦点距離 | 35~500 mm (開口径によって異なる)、カスタマイズ可 |
ファイバーコネクター | QBH、QD、HLC-16 他 |
開口径 | 15、30、50 mm |
ダメージしきい値 | 20 J/cm2, 20 ns, 20 Hz; 1 MW/cm2 CW |
冷却方式 | 空冷または水冷 |
水冷時チラー条件 | Flow rate 1 gpm (= 3.79 L/min)、Pressure Not exceed 80 psi (=0.55 MPa) |
HAAS Laser Technologies Inc.
超短パルスレーザーや257nm~2000nmまで伝送可。ハイパワー、高エネルギー対応、低分散、パワー損失が極めて少ない中空コアフォトニック結晶ファイバー。
対応波長域 | 257nm-2000nm |
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GLOphotonics
ご用途にあわせた波長でテラヘルツ波の生成が可能!!
波長範囲 | 800nm,1250~1500nm |
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損傷閾値 | (製品による) |
サイズ | 3mm~8mm(製品による) |
Terahertz innovations
世界最小級、わずか6g!クローズドループ制御可能の高速アクチュエーター
ストローク | 5-185mm |
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保持力 | 1N/3N |
アクチュエーター材質 | 陽極酸化アルミニウム(ハウジング)、ステンレススチール(ロッド、ハウジングカバー) |
寸法 | 22.7 x 14.8 x 5.4 mm(アクチュエーター部分) |
Xeryon
長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。
稼働軸 | 3軸 |
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ストローク | 10~120mm |
分解能 | 1.25µm~1nm |
推進力 | 1~3N |
サイズ | 30x34x13㎜~120x49x13㎜ |
真空オプション | 10^-6mbar |
Xeryon
コンパクトで正確なピエゾ回転ステージ
分解能 | 3~109μrad |
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回転速度 | 12 ~720度/s |
サイズ | 40x35x21(mm)~50x46x21(㎜) |
Xeryon
高出力用レーザーパワーアッテネーター
Autex
レーザー用オプティクス ビームエキスパンダー
Autex
レーザー用オプティクス 波長板
Autex
レーザー用オプティクス ミラー
Autex
レーザー用オプティクス 偏光ビームスプリッター
Autex
ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ
モデル | ストローク[um] | 開口[mm] | センサータイプ |
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PXY D12 | 40/-、80/65、200/160 | SG | |
PXY16 | 16/12 | φ66 | – |
PXY16 OEM | 16/12 | L字 | CAP |
PXY36 | 36/30 | 50x50mm | – |
PXY38 | 38/32 | – | SG, CAP |
ScanXY40 | 40 | φ15mm | – |
PXY100 | 100/90 | – | SG, CAP |
PXY102 | 100/80 | φ40mm | SG, CAP |
PXY200 | 200/160 | φ28mm | SG |
PXY201 | 250/200 | 30x30mm | CAP |
PXY400 | 400 | 22x22mm | – |
詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ
モデル | ストロークum(オープン/クローズ) | 開口 | センサータイプ |
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MicroTritor | 9 | – | – |
miniTritor | 38 | – | – |
Tritor38 | 38/30 | – | SG |
Tritor50 | 50/40 | – | – |
Tritor100 | 100/80 | – | SG, CAP |
Tritor102 | 100/80 | φ40㎜ | SG, CAP |
Tritor320 | 50X50Y400Z/40X40Y320Z | 150x150mm | CAP |
Tritor400 | 400/320 | 12.5㎜ | SG, CAP |
詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
標準品のマイクロメーターに取り付けて、微動制御が可能
モデル | ストローク | 分解能 | 発生力 |
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MICI80 | 80um | 0.1nm | 216N |
MICI80SG | 80um / 64um | 0.1nm/2nm | 216N |
MICI180 | 180um | 0.4nm | 144N |
MICI180SG | 180um / 144um | 0.4nm/4nm | 144N |
MICI200 | 250um | 250um | 110N |
MICI200SG | 250um / 200um | 250nm/200nm | 110N |
Piezosystem Jena
ピエゾを利用した自動スリット。高速・精密に開閉可能。
モデル | 最大開口 | 分解能 | センサータイプ |
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PZS1 | 230um | 0.5nm | – |
PZS1 SG | 230um/190um | 0.5nm/3nm | SG |
PZS2 | 60um | 0.01nm | – |
PZS2 SG | 60um/50um | 0.01nm/0.8nm | SG |
PZS3 | 1500um | 3nm | – |
PZS4 | 300um | 0.6nm | – |
PZS4 SG | 240um | 0.6nm/8nm | SG |
Piezosystem Jena
オリエンテーションフリーブロックタイプピエゾステージ
ストローク | 40-100um |
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共振周波数 | <1320Hz |
センサーオプション | ストレンゲージタイプ |
詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
モデル | ストローク[um] | 分解能[nm] | 最大発生力[N] | センサータイプ |
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PU40 | 40 | 0.08 | 32 | – |
PU40 SG | 32 | 0.08 / 0.8 | 32 | SG |
PU90 | 90 | 0.18 | 135 | – |
PU90 SG | 72 | 0.18 / 1.8 | 135 | SG |
PU100 | 100 | 0.2 | 135 | – |
PU100 SG | 80 | 0.2 / 2 | 135 | SG |
PU65 HR | 65 | for Scan | 48 | – |
Piezosystem Jena
3軸ピエゾ高速ティルトステージ
モデル | ストローク[mrad] | Z軸ストローク[um] | センサータイプ |
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PSH 1 | 1 | – | SG |
PSH 1z | 1 | 8 | SG |
PSH 2 | 2 | – | SG |
PSH 2z | 2 | 16 | SG |
PSH 3 | 3 | – | SG |
PSH 3z | 3 | 26 | SG |
PSH 4 | 4 | – | SG |
PSH 4z | 4 | 33 | SG |
PSH 8 | 8 | – | SG |
PSH 8z | 8 | – | SG |
詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
コンパクトな筐体に5軸を搭載したピエゾステージ
モデル | ストローク[um] | 開口[mm](φ) | センサータイプ |
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PENTOR | 100 | 17 | – |
PENTOR SG | 100 | 17 | SG |
Piezosystem Jena