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Ultra low loss 超小型 Waveguide
フォトニックインティグレイテッドオプティクス Teemphotonics WAFT, FSC, Mode Converter
波長範囲 1200-1700nm 挿入損失 <0.7dB PDL <0.1dB 最小モードサイズ 4×3μm 最小ピッチ 10μm Teem Photonics
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ハイエナジーピコ秒レーザー Power Chip (繰り返し周波数固定タイプ & 可変タイプ)
ピコ秒レーザー Teemphotonics YAGレーザー
シリーズ モデル名 エネルギー
(μJ)平均出力
(mW)繰り返し
(kHz)パルス幅
(ps)ピーク出力
(kW)1064nm レーザー仕様 Power Chip PNP-M08010 >80 – 下記(A)参照 <500 >160 532nm レーザー仕様 Power Chip PNG-M02010 >20 – 下記(A)参照 <400 >50 PNG-M4005 >35 – 下記(B)参照 <400 >80 355nm レーザー仕様 Power Chip PNV-M02510 >25 – 下記(A)参照 <350 >60 PNV-M01050 >10 – 下記(C)参照 <350 >30 266nm レーザー仕様 Power Chip PNU-M01210 >12 – 下記(A)参照 <350 >35 213nm レーザー仕様 Power Chip PND-M00201 >2 – 下記(D)参照 <500 >4 Teem Photonics
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小型モノリシックキャビティピコ秒レーザー Micro Chip (繰り返し周波数固定タイプ)
ピコ秒レーザー Teemphotonics YAGレーザー
シリーズ モデル名 エネルギー
(μJ)平均出力
(mW)繰り返し
(kHz)パルス幅
(ps)ピーク出力
(kW)1535nm レーザー仕様 Micro Chip MNE-06E >6 >12 >2 <3500 >1.5 1064nm レーザー仕様 Micro Chip MNP-08E >8 >40 >5 <1000 >8 SNP-08E >8 >40 >5 <1000 >8 SNP-18E >18 >300 >13 >3000 – SNP-20F >7 >140 >19 <1000 >10 SNP-50F >4 >190 >45 <700 >5.5 SNP-70F >1 >90 >65 <600 >2 SNP-130F >1.5 >200 >130 <1400 >1.1 SNP-200P >11 >200 >19 <750 >14 532nm レーザー仕様 Micro Chip MNG-03E >3 >15 >5 <750 >4 SNG-03E >3 >15 >5 <750 >4 SNG-20F >2.5 >48 >19 <750 >3 SNG-40F >1.5 >52 >35 <650 >2 SNG-50F >1.25 >60 >50 <650 >2 SNG-70F >0.2 >13 >65 <550 >0.35 SNG-100P >5 >100 >19 <700 >7 355nm レーザー仕様 Micro Chip SNV-05P >0.5 >5 >5 <600 >0.7 SNV-20F >0.5 >10 >19 <600 >0.7 SNV-40P >2 >40 >19 <600 >5 266nm レーザー仕様 Micro Chip SNU-02P >0.3 >2 >6 <600 >0.5 SNU-20F >0.5 >10 >19 <600 >0.7 Teem Photonics
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繰り返し周波数可変 小型モノリシックキャビティピコ秒レーザー Micro Chip (繰り返し周波数可変タイプ)
ピコ秒レーザー Teemphotonics YAGレーザー
シリーズ モデル名 エネルギー
(μJ)平均出力
(mW)繰り返し
(kHz)パルス幅
(ps)ピーク出力
(kW)1064nm レーザー仕様 Micro Chip STP-07E >7 – 1Hz～4kHZ <700 >10 532nm レーザー仕様 Micro Chip STG-03E >3 – 1Hz～4kHZ <500 >6 355nm レーザー仕様 Micro Chip STV-01E >1 – 1Hz～4kHZ <400 >2.5 Micro Chip STV-02E >2 – 1Hz～4kHZ <600 >4 266nm レーザー仕様 Micro Chip STU-01E >1 – 1Hz～4kHZ <400/td> >2 Teem Photonics
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カスタムヘキサポッドステージ
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ カスタム品
Symetrie
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パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ AQUILON
XYストローク ±800mm Zストローク ±650mm チルト <±200° 回転(ZΘ) ±100° XYスピード ±1800mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ2100mm 高さ(Z中間地点)3311mm 耐荷重 6000kg Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIROCCO
XYストローク ±600mm Zストローク ±500mm チルト,回転 <±40° XYスピード ±2000mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ3350mm 高さ(Z中間地点)2850mm 耐荷重 2000kg Symetrie
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ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MISTRAL
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) MISTRAL 600 ±400 ±300 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 MISTRAL 800 ±460 ±400 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 Symetrie
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コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ NOTUS
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ry Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) NOTUS P ±250 ±200 ±25 ±30 800 300 50 200 NOTUS V ±250 ±200 ±25 ±30 1200 640 135 100 Symetrie
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500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SURES
XYストローク ±8mm Zストローク ±6mm チルト <±1° 回転(ZΘ) ±1° 繰り返し精度(XY) ±0.25μm 繰り返し精度(Z) ±0.13μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±0.5μrad サイズ φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm 耐荷重 500kg Symetrie
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1500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージ JORAN
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ JORAN
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) JORAN BJ ±75 ±50 ±5 ±8 0.6 0.4 0.045 0.07 1500 JORAN UJ ±170 ±100 ±10 ±18 0.6 0.4 0.045 0.07 1500 Symetrie
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高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ KUBAN
XYストローク ±75mm Zストローク ±45mm チルト <±5° 回転(ZΘ) ±10° 繰り返し精度(XYZ) XY±0.2μm Z±0.1μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±2.5μrad Rz±4μrad サイズ φ450mm 高さ(Z中間地点)600mm 開口φ200mm 耐荷重 500kg Symetrie
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高精度長ストロークヘキサポッドステージ SIRIUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIRIUS
XYストローク ±150mm Zストローク ±100mm チルト <±16° 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) XY±3μm Z±2μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±10μrad Rz±17.5μrad サイズ φ520mm 高さ(Z中間地点)750mm 耐荷重 500kg Symetrie
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高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA
XYストローク ±50mm/±200mm(長ストロークモデル) Zストローク ±25mm/±150mm(長ストロークモデル) チルト <±10°/±20°(長ストロークモデル) 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad/±1μrad(長ストロークモデル) サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)360mm/φ720mm 高さ(Z中間地点)640mm(長ストロークモデル) 耐荷重 400kg Symetrie
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高精度ヘキサポッドステージ BREVA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BREVA
XYストローク ±75mm Zストローク ±50mm チルト <±20° 回転(ZΘ) ±22° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad サイズ φ606mm 高さ(Z中間地点)350mm 開口φ250mm 耐荷重 200kg Symetrie
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シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ PUNA
XYストローク ±30mm Zストローク ±20mm チルト <±11° 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.75μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±3.2μrad サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)200mm 開口φ144mm 耐荷重 25kg Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ HEGOA
XYストローク ±100mm Zストローク ±50mm チルト <±23° 回転(ZΘ) ±30° XYZスピード ±200mm/s チルト/回転スピード ±50mm/s サイズ φ322mm 高さ(Z中間地点)420mm 耐荷重 50kg 重量 3kg Symetrie
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小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MAUKA
XYストローク ±5mm Zストローク ±10mm チルト <±8° 回転(ZΘ) ±8° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±5μrad サイズ φ107mm 高さ(Z中間地点)198mm 開口φ30mm 耐荷重 5kg Symetrie
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小型高精度ヘキサポッドステージ BORA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA
XYストローク ±20mm Zストローク ±10mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±15° 繰り返し精度(XYZ) ±0.4μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±3.2μrad サイズ φ210mm 高さ(Z中間地点)145mm 開口φ36mm 耐荷重 10kg Symetrie
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小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SOLANO
XYストローク ±18mm Zストローク ±6.5mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±21° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±4μrad サイズ φ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm 耐荷重 5kg Symetrie