白色反射分光によるナノレンジからミクロンレンジの膜厚測定システムで、持ち運び便利なポータブルタイプから大型の据置きタイプまで用途にあわせ多くの機種が選択できます。たとえば、高温化(<206℃)、液中、顕微鏡取り付けタイプ、ガスチャンバー、フローセル等測定に必要とされる数多くのモジュールが用意されており、研究用途のみならず生産現場での使用を見越した製品です。
Products製品情報
ThetaMetrisis
ThetaMetrisis社について
製品一覧
-
ポータブル膜厚計 簡単・高精度・お手頃な価格
膜厚計 ThetaMetrisis ポータブル膜厚計（デモ機あり）
厚み測定範囲 15nm-90µｍ 厚み再現性 1nm、厚み測定精度：0.1nm or 1‰ 分光範囲 350－1050nm 電源 USBから供給 寸法 300mm x 110mm x 40mm（ステージを除く） 重量 600ｇ（ステージを除く） ThetaMetrisis
-
高品質、高精度の顕微ユニットを開発しました。最小２µｍスポットの微小領域の膜厚測定が可能です。同軸カメラ付きで測定箇所がわかります。
FR-Micシリーズ ThetaMetrisis 顕微式白色干渉膜厚計
モデル UV/VIS UV/NIR-HR VIS/NIR NIR 分光範囲(nm) 200 – 850 200-1100 370 –1020 900 – 1700 ピクセル数 3648 3648 3648 512 厚みレンジ
対物レンズ 5X4nm – 60µm 4nm – 100µm 15nm – 90µm 100nm – 150µm 厚みレンジ
対物レンズ10X4nm – 50µm 4nm – 80µm 15nm – 80µm 100nm – 130µm 厚みレンジ
対物レンズ15X4nm – 40µm 4nm – 50µm – 100nm – 100µm 厚みレンジ
対物レンズ20X4nm – 25µm 4nm – 30µm 15nm – 30µm 100nm – 50µm 厚みレンジ
対物レンズ40X4nm – 4µm 4nm – 5µm – – 厚みレンジ
対物レンズ50X– – 15nm – 5µm 100nm – 5µm API対応 〇 〇 〇 厚み精度 0.1% or 1nm 0.1% or 1nm 0.2% or 2nm 3nm or 0.3% ThetaMetrisis