ナノポジショニングクローズドループ対応ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ: 70mm×70mm)
稼働軸 | 1軸~2軸 |
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ストローク | 15mm |
分解能 | 1μm~20nm |
最大速度 | 1.5mm/s |
積載量 | 0.5Nm |
ブロッキングフォース | 10N |
質量 | 120g |
mechOnics
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ナノポジショニングクローズドループ対応ピエゾステージ
稼働軸 | 1軸~2軸 |
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ストローク | 15mm |
分解能 | 1μm~20nm |
最大速度 | 1.5mm/s |
積載量 | 0.5Nm |
ブロッキングフォース | 10N |
質量 | 120g |
mechOnics
コンパクトサイズの3軸一体型ピエゾステージ
稼働軸 | 3軸 |
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ストローク | 2~10mm(XYZ) |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 1.2mm/s |
積載量 | 0.15Nm |
ブロッキングフォース | 2N |
質量 | 46~76g |
mechOnics
ナノポジショニング小型ピエゾステージ
稼働軸 | 1軸~2軸 |
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ストローク | 8~11mm |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 1.2mm/s |
積載量 | 0.5Nm |
ブロッキングフォース | 4.5N |
ベアリングフォース | 30N |
質量 | 32~50g |
mechOnics
2軸ミラーチルトピエゾステージ
稼働軸 | 2軸 |
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調節可能角度 | 0.3~28μrad |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 25mrad/s |
積載量 | 100g |
質量 | 46g |
mechOnics
極低温対応可能ナノポジショニング小型ピエゾステージを標準品でご用意。
稼働軸 | 1軸~3軸 |
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ストローク | 5mm |
分解能 | 200~1000nm |
最大速度 | 1mm/s |
積載量 | 3Ncm |
ブロッキングフォース | 1N |
ベアリングフォース | 1N |
質量 | 25g |
mechOnics
ナノポジショニング小型ピエゾステージ
稼働軸 | 1軸~3軸 |
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ストローク | 8~30mm |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 1.2mm/s |
積載量 | 0.5Nm |
ブロッキングフォース | 4.5N |
ベアリングフォース | 30N |
質量 | 32~54g |
mechOnics
ナノポジショニング穴あき小型ピエゾステージ
稼働軸 | 1軸~3軸 |
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ストローク | 8mm |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 1.5mm/s |
積載量 | 0.4Nm |
ブロッキングフォース | 4.5N |
ベアリングフォース | 20N |
質量 | 32g |
mechOnics
業界最小クラスの極小ピエゾステージ
稼働軸 | 1軸~3軸 |
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ストローク | 3~10mm |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 1.2mm/s |
積載量 | 0.4Nm |
ブロッキングフォース | 3N |
ベアリングフォース | 20N |
質量 | 6g |
mechOnics