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PiezoMotor社製 真空・非磁性対応 超小型中空θステージ Jul.24(TUE), 2007 ピエゾモーターを利用することにより波長板やその他光学系を回転制御する際、非常に使用しやすい小型の中空シータステージです。 |
| * バックラッシュフリー | ![]() |
| * グリースフリー | |
| * 360°リミットフリー | |
| * 12.7mmフリーホール | |
| * 超低速定速駆動可能 |
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