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対物レンズ用ピエゾアクチュエーター MIPOS5 APR. 21(MON), 2003 ピエゾシステムイエナ社(ドイツ)の対物レンズ用ピエゾアクチュエーターから大変位量モデルが登場しました。従来品の100μm、330μmよりも更に長い500μmという大変位量を実現しました。各社メーカーの対物レンズに対応し、顕微鏡への取り付けも取り付けも非常に簡単になっています。勿論、センサーの内蔵によりクローズループ制御も可能です。 |
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