リニアモーターステージ

ナノテク・ワールド

リニアモーターステージ
このステージシステムはエアスライダーの下にリニアモータードライブが組合わせてあり、θ補正されたＸＹ軸を超高精度で高速駆動を可能にしています。機械的なガイドを使っていないため、バックラッシュがありません。また、メカニカルな磨耗がないので長寿命が期待できます。この技術により従来ＸＹステージでは大変難しかった円運動が可能になりました。（下図参照）実用例として、レーザーカッティング（200μmホール、51,000個／ｈ）、表面検査、マイクロアッセンブリ、ウェハー検査や製造装置のステージとして最適です。ＧコードやＨＰＧＬコードにも対応。真空対応もできます。