マイクロメカトロニクス用計測器

ナノテク・ワールド

マイクロメカトロニクス用計測器
変位や振動測定器を超小型のファイバーセンサーとして発表しました。計測ヘッドが非常に小さくまた、磁場の影響も受けることがないので微細計測に最適です。このセンサーには４種類のコントローラーが用意され、さらにこのセンサーをカンチレバーやピエゾ素子などと組み合わせ各種マイクロトライボロジーセンサー（発生力・摩擦・粘度・硬度等の計測）として発表しています。ＭＥＭＳやナノテクノロジーなど今後多用される技術方面での計測用途に最適なメカトロニクスのセンサーです。