ナノテク・ワールド
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厚み・表面計測器 白色分光法を利用した非接触タイプ測定器です。厚み計測、表面粗さ計測、微小測長等が小型センサーヘッドにより大変容易に行えます。研究用としてはもとより各種産業分野でライン内に使用され大きな実績を上げています。プローブは８種類用意されており、厚み計測では２μmより１０ｍｍまでの対象が計測可能です。もちろん分解能も最少のもので１０ｎｍと高い値を持っています。次世代機はさらに膜厚２００ｎｍまで対応できます。またファイバースイッチオプションにて最大９本のセンサーヘッドまで使用が可能です。   |
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新世代の非接触距離・厚み測定機 ＣＨＲocodile を紹介致します。
測定サンプリングレートが４ＫＨｚと速く、広いエリアの形状マッピングまたは厚み測定に威力を発揮します。サンプリングレートが速くなったにもかかわらず、ＳＮ比の向上により、微弱な反射光でも捉えることが可能となりました。使用するセンサープローブは従来機と同様に色収差モード、干渉モードがあり、距離、表面形状、厚み測定の幅が一層広がりました。
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