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精密モーターステージ X・Y・Z軸、回転用、傾斜用の精密自動位置決めステージ。移動距離3mm〜515mm、傾斜角±10度、真直度0.2Mm、バックラッシュゼロ、移動量500mm/秒などの大きな特長のある各種ステージが用途に合わせて用意されています。真空対応用や非磁性対応用のモデルもあり、今後のナノテク加工、計測、バイオテクノロジー、光通信等で幅広いアプリケーションに対応できます。RS232のインターフェイスで同時制御が可能です。 ![]() ![]() ![]() |
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