オーテックス株式会社は、レーザー、レーザー周辺機器、光学機器を扱う専門商社です。

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膜厚計Theta Metrisis

非接触ポータブル膜厚計
PC(USBポート)から電源供給。研究現場や製造現場に持ち込み、瞬時に測定できます。
研究室のみならず、 現場でも使いやすい!

■ 多層膜厚み同時測定も可能!!   
例:PMMA/poly-Si/Si3N4/SiO2   
10層までの膜厚を測定できます。
■ リアルタイムモニタリングなど 未乾燥の塗膜、硬化収縮率、膨張性、各製造工程での現場検査、成膜モニタ、化学反応、生化学反応などにご利用できます。
■ 光学特性評価 光学定数(n,k)の解析、 透過率、吸光率、正反射率、測定等もできます。
 
厚み測定レンジ   15nm 〜 90μm  
厚み測定再現性   1nm  
厚み測定精度   0.1nm or 1‰  
ワーキングディスタンス   10mm - 15mm  
分光範囲   350-1050nm  
波長分解能   0.6nm  
寸法   300mm x 110mm x40mm  
重量   600g 
測定例   半導体、有機エレクトロニクス、フォトニック結晶、ポリマー、塗料、コーティング、太陽光発電池、MEMS、バイオセンサー、薬剤、生体分子膜、光学素子、金属フィルム、エアギャップ
 
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