真空度10-6 mbar対応!エンコーダー内蔵真空対応ピエゾモーターステージ!
自動ステージ PRECIBEO 真空対応エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ
ストローク | 20mm(35mm,50mmについてはお問い合わせください) |
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分解能 | 2nm(35mm,50mmストロークは4nm) |
最大速度 | 8mm/s(無負荷時) |
最大荷重 | <0.5kg |
サイズ | 45×45×14mm |
PRECIBEO
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真空度10-6 mbar対応!エンコーダー内蔵真空対応ピエゾモーターステージ!
ストローク | 20mm(35mm,50mmについてはお問い合わせください) |
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分解能 | 2nm(35mm,50mmストロークは4nm) |
最大速度 | 8mm/s(無負荷時) |
最大荷重 | <0.5kg |
サイズ | 45×45×14mm |
PRECIBEO
エンコーダー付きピエゾモーター
NANOS Instruments
ピエゾモーターステージ
NANOS Instruments
世界最小級、わずか6g!クローズドループ制御可能の高速アクチュエーター
ストローク | 5-185mm |
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保持力 | 1N/3N |
アクチュエーター材質 | 陽極酸化アルミニウム(ハウジング)、ステンレススチール(ロッド、ハウジングカバー) |
寸法 | 22.7 x 14.8 x 5.4 mm(アクチュエーター部分) |
Xeryon
標準品のマイクロメーターに取り付けて、微動制御が可能
モデル | ストローク | 分解能 | 発生力 |
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MICI80 | 80um | 0.1nm | 216N |
MICI80SG | 80um / 64um | 0.1nm/2nm | 216N |
MICI180 | 180um | 0.4nm | 144N |
MICI180SG | 180um / 144um | 0.4nm/4nm | 144N |
MICI200 | 250um | 250um | 110N |
MICI200SG | 250um / 200um | 250nm/200nm | 110N |
Piezosystem Jena
小型ヘキサポッド/多軸ステージ!
ストローク | XYZ±10mm,Θ(XYZ)±10° |
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分解能 | 2nm |
最大速度 | 8mm/s(無負荷時) |
最大荷重 | 1kg |
PRECIBEO
1.5kg耐荷重のZステージ!
稼働軸 | 1軸 |
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ストローク | 10mm |
分解能 | 1.25µm~1nm |
推進力 | 15N |
サイズ | 80x80x40㎜ |
真空オプション | 10^-9mbar |
Xeryon
ナノメートル精度のアクチュエーター!
ストローク | 9mm |
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分解能 | 2nm |
最大速度 | 8mm/s(無負荷時) |
最大荷重 | <0.5kg |
サイズ | 61x28x14mm |
PRECIBEO
エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ
ストローク | 20mm-50mm |
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分解能 | 2nm |
最大速度 | 8mm/s(無負荷時) |
最大荷重 | <0.5kg |
サイズ | 45×45×14mm |
PRECIBEO
長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。
稼働軸 | 3軸 |
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ストローク | 10~120mm |
分解能 | 1.25µm~1nm |
推進力 | 1~3N |
サイズ | 30x34x13㎜~120x49x13㎜ |
真空オプション | 10^-6mbar |
Xeryon
コンパクトで正確なピエゾ回転ステージ
分解能 | 3~109μrad |
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回転速度 | 12 ~720度/s |
サイズ | 40x35x21(mm)~50x46x21(㎜) |
Xeryon
小型、高推力のフリクションベースピエゾモーター
PiezoMotor