オーテックス株式会社は、レーザー、レーザー周辺機器、光学機器を扱う専門商社です。

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リニアモーターステージ Linear Motor Stage

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ALIO社は2001年に設立以来、一貫して、Nanoにこだわって、 ステージを製造してまいりました。 クロスローラーガイド、エアベアリング、リニアモーター、PZTモーター等、アプリケーションに最適のステージを250種以上のスタンダードステージより組み合わせて提供します。



 品名 特徴  画像 
 
 ハイブリッド
ヘキサポッド
可動軸:X-Y-Z-θ-Tilt Yの自由曲線
ストローク: 60 - 300mm (X-Y)
       6 - 106mm (Z)
       360° (θ)
       ±3 - ±18 °
分解能: 直動:5mm,角度:<0.04秒
真空オプションあり:10
-5,torr
          10-7,torr
ゴニオ駆動可(中心軸を自由に規定できます)
倒立での使用も可能です。
 
   穴あきXYステージ 開口: 40mm□
ストローク: 50mm (X-Y)
スピード : 250mm/s
再現性: ±1 encorder counts
真空オプションあり: 10
-10 torr
温度: 0-100℃
 
   穴あきロータリーステージ トルク: 0.8Nm
エンコーダー分解能:0.02arcsec~20arcsec
スピード : 270°/sec
再現性: ±1 encorder counts
真空オプションあり: ~10
-10 torr
温度: 0-85℃
 



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バナースペース

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