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リニアモーターステージ Linear Motor Stage

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ステージシステムはエアスライダーの下にリニアモータードライブが組合わせてあり、θ補正されたＸＹ軸を超高精度で高速駆動を可能にしています。機械的なガイドを使っていないため、バックラッシュがありません。また、メカニカルな磨耗がないので長寿命が期待できます。この技術により従来ＸＹステージでは大変難しかった円運動が可能になりました。実用例として、レーザーカッティング（200μmホール、51,000個／ｈ）、表面検査、マイクロアッセンブリ、ウェハー検査や製造装置のステージとして最適です。ＧコードやＨＰＧＬコードにも対応。真空対応もできます。

 品名 特徴  画像 
   穴あきXYステージ 開口：　40mm□
ストローク:　50mm　(X-Y)
スピード :　250mm/s
再現性:　±1 encorder counts
真空オプションあり:　10-10　torr
温度:　0-100℃ 		 
   穴あきロータリーステージ トルク：　0.8Nm
エンコーダー分解能:0.02arcsec~20arcsec
スピード :　270°/sec
再現性:　±1 encorder counts
真空オプションあり:　~10-10　torr
温度:　0-85℃ 		 



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